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    • 专利摘要:

    公开号:WO1988007275A1
    申请号:PCT/JP1988/000171
    申请日:1988-02-19
    公开日:1988-09-22
    发明作者:Etsuo Yamazaki；Nobuaki Iehisa
    申请人:Fanuc Ltd；
    IPC主号:H01S3-00
    专利说明:
    [0001] 明 ±m
    [0002] レーザ発振器配管系の異常検出装置
    [0003] (技術分野）
    [0004] 本発明は、 例えば精密加工等に用いられる レーザ発振器の 配管系の異常を検出する装置に関する。
    [0005] (従来技術）
    [0006] 一般にレーザ発振器における レーザ放電管の作動に際し、 レーザ放電管内に媒質ガス、 例えば炭酸ガス、 窒素ガス、 お よびヘリ ゥムガスの混合物を充塡しょ う とする場合、 レーザ 放電管および該レーザ放電管に連結される配管系内に残留し ている使用ずみの劣化した媒質ガスを引き抜いた上で、 新し い媒質ガスを充塡する必要があるが、 配管系に外気侵入、 リ —ク等の異常が存在する と該残留媒質ガスの引き抜きに時間 を要し、 または該引き抜き操作の終止時点の判断に困難をと もない実用上不便であるという問題点がある。
    [0007] 前述の操作を行うためには、 そのための構造設備および該 構造設備を所要の手順により作動させる配置を用意すること になり、 そのための簡単な、 しかも信頼性のある構成が要望 されている力、:、 従来必ずしも適切なものは得られていない。
    [0008] (発明'の開示）
    [0009] 本発明は、 前述の従来形における問題点に対応するための 改良されたレーザ発振器配管系の異常検出装置を提供するこ とを目的とする。
    [0010] 本発明においては、 充塡された媒質ガス内にレーザ発振が 発生させられる レーザ放電管、 該レーザ放電管に連結され媒 質ガスの循環が行われる媒質ガス循環管路、 該媒質循環管路 内に設けられた媒質ガス循環用ポンプ、 該媒質ガス循環管路 へ媒質ガスを供袷する媒質ガス供給管路、 該媒質ガス供袷管 路内に設けられた開閉弁、 該媒質ガス供辁眚路に連結された 圧力セ ンサ、 該レーザ放電管および媒質ガス循環管路におけ る媒質ガスを排出するための、 排出管路内に設けられた、 駆 動装置により駆動される媒質ガス排出用ポンプ、 および、、 該 配管系の動作を制御するための制御装置であって、 該圧力セ ンサからの信号を受け、 該排出用ポンプ駆動装置へ供給され る信号および表示装置へ供給される信号を発生させるもの、 を具備し、 該媒質ガス管路内の開閉弁を閉路し該排出用ポン プを駆勖開始した後、 該圧力セ ンサ動作信号が所定の時間内 に発生するか否かの判定にもとづき、 該配管系における異常 の有無が検出表示されるようになつていることを特徴とする レーザ 振器配管系の異常検出装置、 が提供される。
    [0011] (図面な簡単な説明）
    [0012] 第 1図は本発明の一実施例としてのレーザ発振器配管系の 異常検出装置の構成を示す図、
    [0013] 第 2図は第 1図装置の動作の一例を示す流れ図である。 (発明を実施するための最良の形態）
    [0014] 本発明の一実施例としてのレ—ザ発振器配管系の異常検出 装置が第 1 図に示される。
    [0015] 第 1図装置においてレーザ発振器 1 はレーザ放電管 1 1 、 全反射鏡 1 2 、 出力結合鏡 1 3、 一方の電極 141および 142 および他方の電極 143および 144 、 を具備する。 一方の電極 141および 142 は電源装置 1 5 の出力端子の一方に接続され 他方の電極 143および 144 は電源装置 1 5 の出力端子の他方 に接続される。
    [0016] レーザ放電管 1 1 に対して媒質ガス配管が結合される力 媒質ガス配管は媒質ガス循環路 211, 212, 213 および 214 、 媒質ガス供給路 217および 218 、 媒質ガス排出路 215 、 およ び媒質ガス循環部排出路 216 を有する。 媒質ガス循環路内に は例えばルーッ型の媒質ガス循環用ポンプ 2 3、 および冷却 器 221および 222 が設けられる。 ガス循環用ポンプ 2 3 の動 作により レ —ザ放電管 1 1 から管路 213 を通りひ 出された 媒質ガスは冷却器 221 、 循環用ポンプ 2 3、 管路 214 、 およ び冷却器 222 を通った上、 管路 211および 212 に分流してレ 一ザ放電管へ復帰する。
    [0017] ガス供給源 2 7 に貯蔵されている媒質ガス例えば炭酸ガス . 窒素ガス、 およびへリ ゥムガスの混合物は開閉弁 2 6 が開路 されると、 詧路 217および 218 を通り レーザ放電管へ供 ¾さ れる。
    [0018] レーザ放電管 1 1 およびガス循環路 211, 212, 213, 214に おける媒質ガスは、 ガス排出ポンプ 2 4の動作により、 管路 215 を通って排出される。 排出ポ ンプ 2 4は電動機駆動部 4 により駆動される。
    [0019] ガス供給眚路 218 には圧力セ ンサ 3が取付けられている。 ガス循環路 211 にはニ ー ドル弁形式の制御弁 2 5 を有するガ ス循璟部放出路 216 が設けられる。
    [0020] この レーザ発振器配管系を制御するために制御装置 7が設 けられる。 制御装置 7 は CPU 71、 ク ロ ック部 711 、 バス Ί 2 、 ROM 73 , RAM 74、 ラ ッ チ部 7 5 、 キイ ボー ド信号受理部マ 6 .. 表示制御部？ 7、 および圧力セ ンサ信号受理部 Ί 8を具備す る。 ラ ッチ部 Ί 5 の出力信号は排出ポンプ駆動部 4に供給さ れる。 キイ ボー ド 5からの信号はキィ ボ— ド信号受理部に供 給される。 表示制御部 7 7からの信号は陰極線管などの表示 部 6 に供給される。 圧力セ ンサ 3 の出力信号は圧力センサ信 号受理部 7 8 に供給される。
    [0021] 第 1図装置においてレーザ放電管 1 1 の作動に際し、 レー ザ放電管内に媒質ガス、 例えば炭酸ガス、 窒素ガス、 および へリ ゥ厶ガスの混合物を充塡しょう とする場合、 ガス供給路 における開閉弁 2 6を閉路し、 排出ポンプ 2 4を駆動開始す る。 それにより、 レーザ放電管 1 1および配管系内に残留し ていた使用ずみの劣化した媒質ガスが漸次装置外へ排出され る。 配管系のガス圧力が漸次低下する過程において、 制御装 置 7 により該柽過時間の所定値例えば 1 5抄に対応するガス 圧力値の監視を行い、 該経過時間所定値に到達したとき配管 系のガス圧力値が所定圧力値例えば 2 Torr以下になつていれ ば異常なしと判断して排出ポンプ.2 の停止およびそれにひ きつづく 正常手順の作動が行われる力く、 該所定圧力値になら なければ配管系に外気侵入、 リ ーク等の異常が存在する と判 断して表示部 6 において警報表示を行う。
    [0022] 第 1 図に示される レーザ発振器配管系の異常検出装置の動 作の一例が第 2図の流れ図により説明される。
    [0023] ステ ッ プ S 0 において電源オ ンとなる と、 ステ ップ S 1 に おいて排出ポ ンプ 2 4 が起動し、 ステ ッ プ S 2 において制御 装置 7 におけるタイ マ機能が起動し、 ステ ップ S 3 において 圧力セ ンサ出力信号ォンか否かb lが判定される。 判定結果がィ エスであれば、 それは配管系に異常がないことをあらわして おり、 ステップ S 5 において排出ポンプ 2 4を停止し、 ステ ップ S 6 において開閉弁 2 6を開路し、 ステ ッ プ S 7 におい て制御弁 2 5 が作動し、 ステ ップ S 8 において循環用ボンプ 2 3が起動する。
    [0024] ステップ S 3 の判定結果がノ ゥであれば、 ステ ップ S 4に お >て時限完了したか否かが判定される。 判定結果がノ ウで あればステップ S 3を反復する。 ステップ S 4 の判定結果が イ エスであれば、 それは配管系に外気侵入、 リ ーク等の異常 が存在することをあらわしており、 ステップ S 9 において表 示部 6 における警報表示が行われる。 次いでステップ S 10に おいて電源オフし、 装置点検等の段階へ進む。
    [0025] なお前述の実施例においてはレーザ放電管は単一個と して 説明されたが、 それに限らず、 レーザ放電管を並列的に複数 個 用いるものとするこ とができる。
    [0026] 第 1図の装置においては、 媒質ガス供給路における開閉弁 の閉路、 ガス排出ポンプの躯勣開始後、 圧力セ ンサの動作信 号が所定時間内に発生するか否かの判定にもとづき、 レーザ 発振器配管系における異常の有無が検出表示され、 比較的簡 単な構成により配管系における異常の有無の検出表示を適切 に行う ことができる。
    权利要求:
    Claims

    請 求 の 範 囲 充塡された媒質ガス内にレーザ発振が発生させられる レー ザ放電管、
    該レーザ放電管に連結され媒質ガスの循環が行われる媒質 ガス循環管路、
    該媒質ガス循環管路内に設けられた媒質ガス循環用ポンプ 該媒質ガス循環管路へ媒質ガスを供給する媒質ガス供袷管 路、- 該媒質ガス供給管路内に設けられた開閉弁、
    該媒質ガス供給管路に連結された圧力セ ンサ、
    該レ ーザ放電管および媒質ガス循環管路における媒質ガス を排出するための、 排出管路内に設けられた、 駆動装置によ り駆動される媒質ガス排出用ポ ンプ、 および、
    該配管系の動作を制御するための制御装置であつて、 該圧 カセンサからの信号を受け、 該排出用ポンプ駆動装置へ供給 される信号および表示装置へ供給される ί言号を発生させるも の、 を具備し、
    該媒質ガス管路内の開閉弁を閉路し該排出用ポンプを駆動 開始した後、 該圧力センサ動作信号が所定の時間内に発生す るか否かの判定にもとづき、 該配管系における異常の有無力 検出表示されるよう になっている ことを特徴とする レーザ発 振器配管系の異常検出装置。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
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    JPH01289620A|1989-11-21|Wire breaking position detecting device
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    JPH0341996B2|1991-06-25|
    DE3873871D1|1992-09-24|
    US4935937A|1990-06-19|
    EP0310670B1|1992-08-19|
    EP0310670A1|1989-04-12|
    EP0310670A4|1989-08-09|
    DE3873871T2|1993-04-01|
    JPS63229793A|1988-09-26|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1988-09-22| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): US |
    1988-09-22| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): DE FR GB IT NL |
    1988-11-17| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1988901920 Country of ref document: EP |
    1989-04-12| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1988901920 Country of ref document: EP |
    1992-08-19| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1988901920 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP6244587A|JPH0341996B2|1987-03-19|1987-03-19||
    JP62/62445||1987-03-19||EP19880901920| EP0310670B1|1987-03-19|1988-02-19|Abnormal condition detector in a laser oscillator conduit system|
    DE19883873871| DE3873871T2|1987-03-19|1988-02-19|Anomalie-detektor in einem laseroszillator-leitungssystem.|
    DE19883873871| DE3873871D1|1987-03-19|1988-02-19|Anomalie-detektor in einem laseroszillator-leitungssystem.|
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